气体传感器中的厚薄膜技术

doi:10.13873/j.1000-97871992.01.002

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气体传感器中的厚薄膜技术

更新时间：2025-09-11

- 气体传感器中的厚薄膜技术
- Issue 1, Pages: 1-7(1992)
- 作者机构：
  
  国营4322厂
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97871992.01.002
  CLC：
- Published：1992
- 稿件说明：
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[J]. 1992, (1): 1-7.
DOI：

[J]. 1992, (1): 1-7. DOI： 10.13873/j.1000-97871992.01.002.

摘要

厚薄膜技术已广泛用于制作气体传感器

在气敏技术中起重要作用。综述了在气体传感器制造中使用的厚薄膜技术

包括厚膜、薄膜、超微粒子薄膜和LB膜技术。

Abstract

关键词

Keywords

references

孙良彦.半导体气敏元件的新进展[J].传感器技术,1990(02).

文佑平.厚膜α-Fe_2O_3气体传感器的研制[J].电子元件与材料,1989(01).

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