固支结构对压阻式加速度传感器的影响

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)09-0017-04

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固支结构对压阻式加速度传感器的影响

更新时间：2025-09-11

- 固支结构对压阻式加速度传感器的影响
- Issue 9, Pages: 17-20(2025)
- 作者机构：
  
  1. 中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
  2. 内蒙动力机械研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)09-0017-04
  CLC： TP212
- Published：2025
- 稿件说明：
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[J]. 2025, (9): 17-20.
DOI：

[J]. 2025, (9): 17-20. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)09-0017-04.

摘要

针对MEMS加速度传感器发展进程中传统仿真模型因未充分考虑固支结构所带来的影响，致使限制了传感器的优化设计。为此，针对四端四梁MEMS压阻式加速度传感器，运用有限元仿真分析方法，研究不同封装约束方法及固支结构对其性能的影响。研究发现，引入固支结构会造成压敏电阻路径应力约9%的偏差，不同封装方法对应力影响约1.8%。当固支结构宽度为400μm时，可在保证性能的同时，将整体结构尺寸缩小近32%

为微型化压阻式加速度传感器的设计制造提供了新思路与方法。

Abstract

关键词

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references

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