恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)08-0120-04

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恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升

更新时间：2025-09-16

- 恒压激励式压力传感器模拟补偿工艺效能提升
- Issue 8, Pages: 120-123+127(2025)
- 作者机构：
  
  中国航发控制系统研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)08-0120-04
  CLC： TP212
- Published：2025
- 稿件说明：
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[J]. 2025, (8): 120-123+127.
DOI：

[J]. 2025, (8): 120-123+127. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)08-0120-04.

摘要

硅压阻式压力传感器输出受温度变化影响。由于压力传感器实际工作环境的温度变化范围很大，需要采用温度补偿方法来抑制环境温度对传感器特性的影响。当前所采用的模拟式压力传感器调试工艺较为依赖人工操作，费时费力。本文给出了一种针对恒压激励下的硅压阻式压力传感器桌面模型补偿调试工艺，通过搭建补偿电路、元器件等桌面模型，以测试数据结合桌面模型计算的调试工艺提高压力传感器模拟补偿过程中的调试效率及合格率。1 000余支压力传感器的验证结果表明，基于桌面模型计算的调试一次合格率大于99%、调试效率提升400%以上，过程能力指数(CPK)为1.77

具备较强的工程化推广前景。

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