高灵敏度梳齿式MEMS加速度计设计与分析

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)08-0115-05

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高灵敏度梳齿式MEMS加速度计设计与分析

更新时间：2025-09-16

- 高灵敏度梳齿式MEMS加速度计设计与分析
- Issue 8, Pages: 115-119(2025)
- 作者机构：
  
  1. 合肥工业大学微电子学院安徽省MEMS工程技术研究中心
  2. 蔚来汽车科技(安徽)有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)08-0115-05
  CLC： TH824.4
- Published：2025
- 稿件说明：
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[J]. 2025, (8): 115-119.
DOI：

[J]. 2025, (8): 115-119. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)08-0115-05.

摘要

针对车身动态悬架和车辆底盘控制的加速度计存在灵敏度低、抗干扰能力差的问题，设计了一种高灵敏度梳齿式MEMS加速度计。该加速度计采用多组不等高梳齿结构增加梳齿电极的数量，单边凹槽和阻尼孔的组合减小阻尼的同时，偏移了敏感质量块的质心，增大了偏转角度，有效地提高了加速度计的灵敏度。挠性梁在Z敏感轴方向的位移远高于X、Y非敏感轴，X、Y轴的耦合误差分别为1.42%、0.01%

具有良好的抗交叉轴干扰能力。利用COMSOL仿真软件对敏感结构进行静力学、模态与谐响应分析。结果表明，该加速度计量程为16 g_n

抗过载能力超过500 g_n

灵敏度为3.9 fF/g_n

固有频率约为1.4 kHz。最后基于绝缘体上硅（SOI）技术设计了加速度计的工艺流程。

Abstract

关键词

Keywords

references

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