基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)07-0028-04

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基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究

更新时间：2025-09-11

- 基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究
- Issue 7, Pages: 28-31(2025)
- 作者机构：
  
  中国石油大学(华东)控制科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)07-0028-04
  CLC： TP212.11
- Published：2025
- 稿件说明：
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[J]. 2025, (7): 28-31.
DOI：

[J]. 2025, (7): 28-31. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)07-0028-04.

摘要

基于声表面波(SAW)传感器的气体检测方法集成了气敏薄膜的高特异性和SAW的高敏感性，成为当前气体检测领域的新兴发展方向。但是，由于传统气敏薄膜选择性差，限制了SAW气体传感器的应用范围，因此提出了一种基于温度调制的SAW传感器的实验研究方法，并通过模拟仿真得出不同气体的灵敏度响应。为满足SAW大范围的温度调制，提出了一种微热板+叉指电极的层叠结构，并完成了这种新型结构下的电、热、声联合仿真。结果表明，气敏薄膜在不同温度下对不同气体的吸附能力各异，可根据温度曲线分辨不同气体，为SAW传感器件的优化设计提供参考。

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沈伟强,杨俊超,马薇,张根伟,杨杰,曹树亚.MEMS微热板研究进展[J].传感器与微系统,2023(07).

张伟岩,岳宏,刘继江,尹春岳,孙略升,王烜赫.MEMS气体传感器微热板仿真设计及气敏性能研究[J].传感器与微系统,2022(05).

沈伟强,赵将,马薇,张根伟,杨杰,曹树亚.基于MEMS的微热板结构设计与性能测试研究[J].仪表技术与传感器,2022(04).

沈伟强,杨俊超,马薇,张根伟,杨杰,曹树亚.基于MEMS的微热板结构仿真优化研究[J].传感器与微系统,2021(12).

曹艳.铌酸锂声表面波气体传感器及其谐振频率的研究[J].电声技术,2019(08).

姚恒斌,胡芳仁,吴成玲.ZnO单晶声表面波谐振器传播特性的研究[J].压电与声光,2015(04).

薛齐齐,孙崇波,孙毅.YX128°-LiNbO_3 SAW传感器IDT的有限元仿真[J].哈尔滨工业大学学报,2010(03).

李开璇.IDT结构优化及SAW器件研究[D].天津理工大学,2021(08).

钱进.金刚石多层膜结构声表面波器件的有限元仿真[D].天津理工大学,2019(08).

刘凯强.温度分布及应力可调的微热板式气体传感器[D].大连理工大学,2015(03).

邵明亮.微热板式微气压传感器电热力耦合及瞬态特性研究[D].大连理工大学,2009(07).

张五金.微热板式微气压传感器电热力耦合分析及测试[D].大连理工大学,2008(05).

Spruit Ronald G.,van Omme J. Tijn,Ghatkesar Murali K.,Garza H. Hugo Perez.A Review on Development and Optimization of Microheaters for High-Temperature In Situ Studies[J].Journal of Microelectromechanical Systems,2017.

Benfeng Zhang,Tao Han,Gongbin Tang,Qiaozhen Zhang,Tatsuya Omori,Ken-ya Hashimoto.Influence of coupling with shear horizontal surface acoustic wave on lateral propagation of Rayleigh surface acoustic wave on 128°YX-LiNbO3[J].Japanese Journal of Applied Physics,2017(7S1).

李淑红.基于声表面波技术的新型气体传感器的研究[D].南开大学,2010(08).

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