倒装膜结构MEMS石墨烯压力传感器设计

doi:10.13873/J.1000-9787(2025)06-0118-04

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倒装膜结构MEMS石墨烯压力传感器设计

更新时间：2025-09-11

- 倒装膜结构MEMS石墨烯压力传感器设计
- Issue 6, Pages: 118-121+127(2025)
- 作者机构：
  
  1. 中北大学仪器与电子学院
  2. 中北大学前沿交叉科学研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2025)06-0118-04
  CLC： TQ127.11;TP212
- Published：2025
- 稿件说明：
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[J]. 2025, (6): 118-121+127.
DOI：

[J]. 2025, (6): 118-121+127. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2025)06-0118-04.

摘要

针对传统MEMS压力传感器性能难以提升且结构复杂等问题，基于石墨烯压阻效应及氮化硅对石墨烯再防护技术提出了一种倒装式膜结构石墨烯压力传感器。通过理论计算和有限元仿真相结合的方法对氮化硅弹性膜片进行了尺寸设计和仿真优化。结果表明：在0～400 kPa范围内，弹性膜片最优尺寸为120μm×120μm、厚度为1.3μm

且最大应变为0.509%

并根据最大应变分布确定在弹性膜片根部40μm的范围内石墨烯条带采用回折型布置。本文设计的倒装膜结构石墨烯压力传感器以其小巧体积、高度集成及卓越的灵敏度等特点，为石墨烯压力传感器的研发提供了可行性的解决方案。

Abstract

关键词

Keywords

references

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