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基于旋涂工艺的单层微结构电容式压力传感器
更新时间:2025-09-11
    • 基于旋涂工艺的单层微结构电容式压力传感器

    • Issue 3, Pages: 98-101+106(2025)
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2025)03-0098-04    

      CLC: TP212
    • Published:2025

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  • [J]. 2025, (3): 98-101+106. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2025)03-0098-04.

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