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基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析
更新时间:2025-09-11
    • 基于单晶硅的压阻效应压力传感器低气压输出异常分析

    • Issue 10, Pages: 15-18(2024)
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2024)10-0015-04    

      CLC: TP212
    • Published:2024

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  • [J]. 2024, (10): 15-18. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)10-0015-04.

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