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基于磁控溅射技术的微结构柔性压力传感器
更新时间:2025-09-11
    • 基于磁控溅射技术的微结构柔性压力传感器

    • Issue 9, Pages: 104-107(2024)
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2024)09-0104-04    

      CLC: TP212
    • Published:2024

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  • [J]. 2024, (9): 104-107. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2024)09-0104-04.

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