基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)05-0113-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备

更新时间：2025-09-11

- 基于硅酸镓镧高温压电剪切加速度计的设计与制备
- Issue 5, Pages: 113-115+120(2024)
- 作者机构：
  
  1. 中北大学微纳器件与系统教育部重点实验室
  2. 中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室
  3. 太原科技大学电子信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)05-0113-03
  CLC： TP212
- Published：2024
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 2024, (5): 113-115+120.
DOI：

[J]. 2024, (5): 113-115+120. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)05-0113-03.

摘要

随着航空航天、原子能技术、汽车电子、冶金与石油化工等工业的迅猛发展，迫切需要能够在高温环境下对振动、压力及噪声等进行监测的传感器。本文设计并制备了基于硅酸镓镧（LGS）压电单晶材料的压电加速度传感器。实验结果表明，该传感器的谐振频率约为3 kHz

在常温～800℃

工作频率为80～1 000 Hz范围内，传感器的电荷灵敏度保持稳定，平均值为0.081 pC/g_n。该传感器能在800℃高温下稳定工作。

Abstract

关键词

Keywords

references

李强,梁庭,雷程,李永伟,周行健.高灵敏度SiC动态高温压力传感器仿真研究[J].传感器与微系统,2024(01).

冯登虎,石云波,赵锐,陈玉楠,张鹏,闫晓朋.抗高过载MEMS器件双层异质防护结构的仿真研究[J].传感器与微系统,2023(11).

高晓丹,刘岚,姚敏,魏纯.薄膜干涉型光纤温度传感器的偏振特性[J].传感器与微系统,2023(10).

陈丽洁,徐兴烨,雷亚辉,杨月,朴胜春,张丽.新型氮化铝AlN晶体高温压电振动传感器[J].中国电子科学研究院学报,2020(12).

袁宇鹏,王登攀,李小飞,李军,胡杨,曾翔豹,王音心,张祖伟.面向核电状态监测用的压电加速度传感器设计[J].压电与声光,2019(01).

Aubert Thierry,Kokanyan Ninel,Elmazria Omar.Langasite as Piezoelectric Substrate for Sensors in Harsh Environments: Investigation of Surface Degradation under High-Temperature Air Atmosphere[J].Sensors,2021.

Kyungrim Kim,Shujun Zhang,Wenbin Huang,Fapeng Yu,Xiaoning Jiang.YCa4O(BO3)3 (YCOB) high temperature vibration sensor[J].Journal of Applied Physics,2011.

曾宏川.压电加速度传感器优化设计与高温特性研究[D].电子科技大学,2021(01).

丁明鹏.剪切式高温压电加速度传感器设计及性能模拟[D].山东大学,2020(12).

潘睿.压缩式高温压电加速度传感器设计与性能研究[D].山东大学,2019(09).

朱瑞浩.高温压电加速度传感器的设计与制作研究[D].电子科技大学,2019(12).

孔令枫.基于CTGS和YCOB晶体的高温压电加速度计灵敏度和温漂特性研究[D].厦门大学,2018(07).

Views

282

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

基于Comsol的螺栓预应力对Tonpilz型换能器的影响

基于温度调制的声表面波传感器结构设计与实验研究

基于耐高温环境转速传感器的设计

石英挠性加速度计摆片特性仿真研究

基于引压方式的驻极体高温动态压力传感器

Related Author

于肇贤

王宏伟

夏丽莉

兰宇丹

杨威

郭亮

王德钊

夏云阳

Related Institution

北京信息科技大学理学院

中国石油大学(华东)控制科学与工程学院

中国电子科技集团公司第四十九研究所

东北农业大学

北京信息科技大学高动态导航技术北京市重点实验室

⁰