微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)04-0064-04

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微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究

更新时间：2025-09-11

- 微纳陶瓷基铂铑10-铂热电偶技术研究
- Issue 4, Pages: 64-67(2024)
- 作者机构：
  
  1. 哈尔滨工程大学智能科学与工程学院
  2. 哈尔滨工程大学三亚南海创新发展基地
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)04-0064-04
  CLC： TH811
- Published：2024
- 稿件说明：
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[J]. 2024, (4): 64-67.
DOI：

[J]. 2024, (4): 64-67. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)04-0064-04.

摘要

针对燃气轮机温度检测高温热电偶存在的热容大、响应时间慢、无法表贴安装等诸多技术问题，利用陶瓷微纳加工技术制造出50μm厚度的柔性芯片基底，经薄膜工艺形成冗余结构的铂铑10-铂热电偶电极，通过“三明治”封装形成全陶瓷密封型热电偶，开展微纳陶瓷基高温热电偶性能与功能试验。试验表明，所设计的微纳陶瓷基高温热电偶具有快响应特点，能实现在圆滑表面进行柔性表贴安装，在0～1 000℃温度范围内，热电偶输出灵敏度与二级标准铂铑10-铂热电偶比对，偏差在±0.3%

90%响应时间优于0.1 s

热电偶具有良好的高温稳定性。

Abstract

关键词

Keywords

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