基于共溅射ZnO/SnO<sub>2</sub>异质结薄膜的气体传感器研究

doi:10.13873/J.1000-9787(2024)02-0061-04

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基于共溅射ZnO/SnO₂异质结薄膜的气体传感器研究

更新时间：2025-09-11

- 基于共溅射ZnO/SnO₂异质结薄膜的气体传感器研究
- Issue 2, Pages: 61-64(2024)
- 作者机构：
  
  1. 上海海事大学物流工程学院
  2. 上海海事大学海洋科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)02-0061-04
  CLC： TB383.2;TP212
- Published：2024
- 稿件说明：
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[J]. 2024, (2): 61-64.
DOI：

[J]. 2024, (2): 61-64. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2024)02-0061-04.

摘要

采用射频磁控共溅射法在叉指电极上制备了ZnO/SnO

n-n异质结复合薄膜，系统测试了其气敏特性，并分析了其气敏机理。结果表明，与ZnO薄膜和SnO

薄膜气体传感器相比，ZnO/SnO

异质结薄膜气体传感器具有更低的工作温度、更高的灵敏度以及更快的响应和恢复速度。ZnO/SnO

异质结薄膜气体传感器对乙醇具有较好的选择性，最低检测体积分数为1×10

-6

最佳工作温度为250℃;对1×10

-4

乙醇气体的灵敏度可达18.4

响应时间和恢复时间分别为10 s和19 s。

Abstract

关键词

Keywords

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基于共溅射ZnO/SnO2异质结薄膜的气体传感器研究

DOI：10.13873/J.1000-9787(2024)02-0061-04

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基于共溅射ZnO/SnO₂异质结薄膜的气体传感器研究