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新型MEMS仿生声敏感芯片设计与晶圆级测试
更新时间:2025-09-11
    • 新型MEMS仿生声敏感芯片设计与晶圆级测试

    • Issue 12, Pages: 87-90(2023)
    • DOI:10.13873/J.1000-9787(2023)12-0087-04    

      CLC: TN407
    • Published:2023

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  • [J]. 2023, (12): 87-90. DOI: 10.13873/J.1000-9787(2023)12-0087-04.

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