基于电容检测的高精度大量程MEMS加速度计设计

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)03-0100-03

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基于电容检测的高精度大量程MEMS加速度计设计

更新时间：2025-09-11

- 基于电容检测的高精度大量程MEMS加速度计设计
- Issue 3, Pages: 100-102+107(2023)
- 作者机构：
  
  华东光电集成器件研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)03-0100-03
  CLC： TH824.4
- Published：2023
- 稿件说明：
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[J]. 2023, (3): 100-102+107.
DOI：

[J]. 2023, (3): 100-102+107. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)03-0100-03.

摘要

为满足系统在导航和倾角测量等领域对高精度、大量程加速度计的应用需求，设计了一种高精度、大量程微机电系统(MEMS)加速度计。加速度计敏感结构采用梳齿式结构，电容/电压(C/V)转换电路采用开关电容架构，通过斩波技术和相关双采样技术有效降低调理电路的1/f噪声。为提高系统线性度，模/数转换器(ADC)采用2阶1 bit Sigma-Delta架构，同时采用斩波技术降低ADC的失调及1/f噪声。本文设计采用0.18μm BCD工艺，调理电路面积为28 mm

。测试结果表明：MEMS加速度计在±50 g

的量程下，零偏稳定性达到73.7μg

非线性度为69.3×10

-6

总功耗110 mW。

Abstract

关键词

Keywords

references

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0.3 ng/Hz~(1/2)超高灵敏度MEMS加速度计研究进展[J]. 王秋;刘骅锋;许强伟;宋萧萧;严世涛;涂良成.中国惯性技术学报,2020(01)

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