非本征型FP干涉光纤传感器的膜片性能研究

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)03-0073-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

非本征型FP干涉光纤传感器的膜片性能研究

更新时间：2025-09-11

- 非本征型FP干涉光纤传感器的膜片性能研究
- Issue 3, Pages: 73-75+83(2023)
- 作者机构：
  
  广东海洋大学电子与信息工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)03-0073-03
  CLC： TP212
- Published：2023
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 2023, (3): 73-75+83.
DOI：

[J]. 2023, (3): 73-75+83. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)03-0073-03.

摘要

针对膜片材料参数对膜片形变式非本征型法布里—珀罗(FP)干涉光纤传感器性能的影响，研究了石英玻璃和单晶硅(100)膜片非本征FP干涉光纤传感器，用于中低压环境的测量。选定膜片材料有效半径425～500μm

厚度10～30μm

通过MATLAB对不同材料的膜片进行仿真分析，研究了石英玻璃和单晶硅(100)膜片的主要参数有效半径、厚度对灵敏度与动态压力信号频率响应的影响。仿真结果表明：石英玻璃和单晶硅(100)都有比较适中的灵敏度和响应频率，在膜片有效半径和厚度相同的情况下，石英玻璃的灵敏度要高于单晶硅(100)的，而单晶硅(100)的频率响应高于石英玻璃。通过激光焊接石英玻璃膜片的FP干涉传感器，有效半径为500μm

厚度为30μm时，压力灵敏度的实测结果为5.77 nm/kPa

与仿真结果基本吻合。

Abstract

关键词

Keywords

references

基于Mach-Zehnder干涉光纤湿度传感器研究进展[J]. 王一飞;王梦梦;文丰;杨啸宇;华尔天;闫树斌.传感器与微系统,2021(07)

光纤珐珀高温压力传感器的设计与性能测试[J]. 赤娜;张瑶.仪表技术与传感器,2021(04)

基于超弱光纤光栅的LAMOST内部温度监测方法[J]. 罗志会;张宇;张勇;郑胜;曾曙光;杨霄雪.传感器与微系统,2020(12)

用于油气管道的FBG温度压力区分测量传感器[J]. 禹大宽;黎校锐;樊晓阳;丁伟;成艺炜;傅海威.传感器与微系统,2020(11)

光纤传感器在油气勘探上的应用[J]. 刘景利;苏兆斌;邓瑞.国外油田工程,2009(06)

油气勘探中光纤光栅加速度传感器的研究[D]. 余玲玲.武汉理工大学,2019(07)

Design and simulation of a novel fungus-shaped center embossed diaphragm for fiber optic pressure sensors[J]. Hayber Şekip Esat;Aydemir Umut.Optical Fiber Technology,2021

Flywheel-like diaphragm-based fiber-optic Fabry–Perot frequency tailored acoustic sensor[J]. Xiaoguang Qi;Qi Xiaoguang;Wang Shuang;Jiang Junfeng;Liu Kun;Zhang Peng;Li Renyun;Liu Tiegen.Journal of Physics D: Applied Physics,2020

High-Sensitivity Fabry-Perot Interferometric Acoustic Sensor for Low-Frequency Acoustic Pressure Detections[J]. Gong Zhenfeng;Chen Ke;Zhou Xinlei;Yang Yang;Zhao Zhihao;Zou Helin;Yu Qingxu.Journal of Lightwave Technology,2017

Flume testing of seepage velocity monitoring using optic fiber distributed temperature sensing for embankments[J]. Chunhong Wang;Jihong Chen;Jin Wang;Jianping Chen.Sensor Review,2016

Optical Fibre Pressure Sensors in Medical Applications[J]. Sven Poeggel;Daniele Tosi;DineshBabu Duraibabu;Gabriel Leen;Deirdre McGrath;Elfed Lewis.Sensors,2015

Views

260

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

用于光纤振动传感的盘片式振动增敏研究

超高频天线传感器的优化设计

提高干涉型光纤传感器灵敏度的一种方法

基于旋涂工艺的单层微结构电容式压力传感器

用于磨粒检测的同轴差分环状电容传感器设计

Related Author

韩冬子

衣文索

余双勇

王鑫睿

蒋雨辰

倪苏敏

胡瑞明

何永勃

Related Institution

长春理工大学光电工程学院

北京联合大学电子工程学院

河南理工大学鹤壁工程技术学院

中国民航大学电子信息与自动化学院

上海电力大学电子与信息工程学院

⁰