高过载小量程加速度计结构优化与特性分析

doi:10.13873/J.1000-9787(2023)02-0049-04

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高过载小量程加速度计结构优化与特性分析

更新时间：2025-09-11

- 高过载小量程加速度计结构优化与特性分析
- Issue 2, Pages: 49-52(2023)
- 作者机构：
  
  中北大学仪器与电子学院省部共建动态测试技术国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2023)02-0049-04
  CLC： TH824.4
- Published：2023
- 稿件说明：
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[J]. 2023, (2): 49-52.
DOI：

[J]. 2023, (2): 49-52. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2023)02-0049-04.

摘要

在四边固支梁—质量块结构的基础上，优化设计了一种带有微梁的新型四边固支梁压阻式加速度计敏感芯片。通过在结构中引入微梁，有效解决了传统小量程加速度计固有频率与灵敏度相互制约的问题。利用有限元分析软件对优化后的结构进行分析，得到结构的最大应力为2.6 MPa

固有频率为31 kHz

灵敏度为60.9μV/g

抗过载为10 000 g

。与传统高过载小量程加速度计相比较，有效地提高了加速度计的综合性能。

Abstract

关键词

Keywords

references

Design, modeling and FEM-based simulations of a 1-DoF MEMS bulk micromachined piezoresistive accelerometer[J]. R. Mukhiya;R. Gopal;B. D. Pant;V. K. Khanna;T. K. Bhattacharyya.Microsystem Technologies,2015

Micromachined Piezoresistive Accelerometers Based on an Asymmetrically Gapped Cantilever[J]. Li, Y.,Zheng, Q.,Hu, Y.,Xu, Y..Journal of Microelectromechanical Systems: A Joint IEEE and ASME Publication on Microstructures, Microactuators, Microsensors, and Microsystems,2011

A micromachined piezoresistive accelerometer with high sensitivity: design and modelling[J]. M.K Lim;H Du;C Su;W.L Jin.Microelectronic Engineering,1999(3)

A batch-fabricated silicon accelerometer[J]. L.M. Roylance;J.B. Angell.IEEE Transactions on Electron Devices,1979(12)

高量程加速度传感器的结构优化与仿真分析[J]. 韩文曼;郭涛.传感器与微系统,2021(01)

低侧向效应MEMS压阻式加速度传感器[J]. 王鹏;杨帆;王楠;王明武;梁应选.仪表技术与传感器,2020(01)

MEMS加速度计在线快速标定系统设计与实现[J]. 刘伟;魏婷婷;杨清山.传感器与微系统,2019(12)

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三梁-质量块敏感结构高性能压阻式碰撞加速度计[J]. 董培涛;周伟;李昕欣;张屯国;王跃林;封松林;李圣怡.传感技术学报,2007(08)

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