硅阵列探针上基于IrO<sub>x</sub>的pH传感器和电生理信号传感器

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)04-0070-03

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

硅阵列探针上基于IrO_x的pH传感器和电生理信号传感器

更新时间：2025-09-11

- 硅阵列探针上基于IrO_x的pH传感器和电生理信号传感器
- Issue 4, Pages: 70-72+85(2022)
- 作者机构：
  
  上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)04-0070-03
  CLC： TP212
- Published：2022
- 稿件说明：
移动端阅览
[J]. 2022, (4): 70-72+85.
DOI：

[J]. 2022, (4): 70-72+85. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)04-0070-03.

摘要

脑部区域的pH值是哺乳动物中枢神经系统(CNS)的重要环境参数，并与多种神经系统疾病相关。采用微机电系统(MEMS)工艺和电化学方法制造了由电化学电极点和电生理电极点组成的多功能密歇根探针。在多功能密歇根探针中，电生理电极点在1 kHz时具有10 kΩ的低阻抗，而电化学电极点则对pH值具有47 mV/pH的灵敏度。此多功能密歇根探针能够帮助揭示神经生理学和病理学的机制。

Abstract

关键词

Keywords

references

Views

155

下载量

CSCD

Alert me when the article has been cited

提交

Tools

Publicity Resources

氮化铝兰姆波谐振器综述

低量程抗冲击双轴微加速度计设计

SOI全硅无引线MEMS高温压力传感器的设计

基于F-P腔的大孔径MEMS滤波器设计

圆片级封装中的二次硅-玻璃键合工艺研究

Related Author

叶文淏

吕世涛

董智

孙海燕

陶玉娟

帅清

石云波

赵锐

Related Institution

通富微电子股份有限公司

南通大学微电子学院(集成电路学院)

山西北方机械制造有限责任公司

中北大学电子测试技术重点实验室

安徽大学集成电路先进材料与技术产教融合研究院

⁰

硅阵列探针上基于IrOx的pH传感器和电生理信号传感器

DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)04-0070-03

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

硅阵列探针上基于IrO_x的pH传感器和电生理信号传感器