基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计

doi:10.13873/J.1000-9787(2022)04-0066-04

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基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计

更新时间：2025-09-11

- 基于石墨烯压阻效应的宽量程MEMS压力传感器设计
- Issue 4, Pages: 66-69(2022)
- 作者机构：
  
  1. 中北大学仪器与电子学院
  2. 中北大学前沿交叉科学研究院
  3. 中北大学南通智能光机电研究院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/J.1000-9787(2022)04-0066-04
  CLC： TQ127.11;TP212
- Published：2022
- 稿件说明：
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[J]. 2022, (4): 66-69.
DOI：

[J]. 2022, (4): 66-69. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2022)04-0066-04.

摘要

针对传统悬浮式石墨烯压力传感器存在量程小、体积大、非线性度高等问题，设计了一种膜—岛结构的宽量程石墨烯MEMS压力传感器。使用COMSOL有限元仿真软件和噪声分析法对弹性膜片及石墨烯敏感单元尺寸进行优化设计。结果表明：在0～25 MPa范围，传感器最大应变为0.314%

固有频率高达1.353 4 MHz;采用TSV垂直互联技术实现压力传感器芯片的三维集成，芯片封装尺寸仅为2 mm×2 mm。本文设计的石墨烯MEMS压力传感器具有体积小、集成度高、固有频率高、量程宽等特点，对未来高性能石墨烯压力传感器及其他石墨烯力学传感器设计和应用具有指导意义。

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