在聚酰亚胺柔性衬底上采用微机电系统(MEMS)加工技术制作了用于智能可穿戴系统的柔性湿度传感器

传感器具有耐弯折、可穿戴、测量精度高、响应时间短的优点。实验采用湿度发生器、盐箱、LCR电桥对传感器的容值、输出特性、响应时间进行了检测分析。分析结果表明:该柔性湿敏电容对人体皮肤及环境湿度响应良好

传感器输出值与相对湿度呈现良好的线性关系

线性相关系数0. 999

湿度检测范围(10～90)%RH

非线性0. 79%RH

响应时间6 s。实验采用的MEMS加工工艺技术成熟

可以实现批量生产。