一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器

doi:10.13873/J.1000-9787(2014)09-0071-03

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一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器

更新时间：2025-09-11

- 一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器
- Vol. 33, Issue 9, Pages: 71-73(2014)
- 作者机构：
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- DOI：10.13873/J.1000-9787(2014)09-0071-03
  CLC： TP212
- Published：2014
- 稿件说明：
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[1]曹新亮,黄宝瑞.一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器[J].传感器与微系统,2014,33(09):71-73.

[J]. 2014, 33(9): 71-73.
[1]曹新亮,黄宝瑞.一种电压输出型CMOS集成电容湿度传感器[J].传感器与微系统,2014,33(09):71-73. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)09-0071-03.

[J]. 2014, 33(9): 71-73. DOI： 10.13873/J.1000-9787(2014)09-0071-03.

摘要

设计一种湿度传感器。该传感器选用聚酰亚胺作为湿度传感器的感湿介质

采用叉指电容式结构以增加感湿灵敏度

以电荷转移电路为微电容测量电路

用0.35μm多晶硅栅进行设计

形成单片集成湿度传感器。整个组成电路均与CMOS工艺兼容。仿真结果表明:在测量激励方波激励下

片上湿度传感器在27℃下模拟显示出较好的直流电压输出特性。

Abstract

关键词

Keywords

references

具有环境温度自补偿功能的微湿度传感器设计 [J]. 于进,马锓,张洪泉. 传感器与微系统 . 2009(10)

MEMS电容应变传感器 [J]. 冯勇建. 仪器仪表学报 . 2008(03)

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