基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作

龙亮; 钟少龙; 吴亚明

doi:10.13873/j.1000-97872014.05.035

Chinese

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基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作
- Design and fabrication of MEMS magnetic sensor based on permanent magnetic film
- 传感器与微系统 2014年33卷第5期页码：59-61+65
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
  2. 中国科学院大学微系统与信息技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家重大科学仪器设备开发专项项目（2012YQ250002）
- DOI：10.13873/j.1000-97872014.05.035
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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[1]龙亮,钟少龙,吴亚明.基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作[J].传感器与微系统,2014,33(05):59-61+65.

LONG Liang, ZHONG Shao-long, WU Ya-ming. Design and fabrication of MEMS magnetic sensor based on permanent magnetic film[J]. 2014, 33(5): 59-61+65.
[1]龙亮,钟少龙,吴亚明.基于永磁薄膜的MEMS磁传感器设计与制作[J].传感器与微系统,2014,33(05):59-61+65. DOI： 10.13873/j.1000-97872014.05.035.

LONG Liang, ZHONG Shao-long, WU Ya-ming. Design and fabrication of MEMS magnetic sensor based on permanent magnetic film[J]. 2014, 33(5): 59-61+65. DOI： 10.13873/j.1000-97872014.05.035.

摘要

提出了一种基于永磁薄膜的新型MEMS磁传感器

磁传感器由MEMS扭摆、CoNiMnP永磁薄膜和差分检测电容等部分组成。分析了磁传感器的磁敏感原理和电容检测原理

提出了器件的结构参数并对器件进行了模态仿真。利用MEMS加工技术成功制作了MEMS磁传感器样品

并进行了测试。测试结果表明:得到的MEMS磁传感器的电容灵敏度可达到27.7 fF/mT

且具有良好的线性度。根据现有的微小电容检测技术

传感器的磁场分辨率可达到36 nT。

Abstract

A novel MEMS magnetic sensor based on permanent magnetic film is proposed

including a MEMS torsional pendulum

a CoNiMnP permanent magnetic film and differential detection capacitances. Theories of magnetic sensing and capacitive detection are analyzed and structure parameters are presented and model simulation of the device is carried out. MEMS magnetic sensor sample are fabricated successfully by MEMS process technology and it is tested. The test results show that the MEMS magnetic sensor has good linearity

its capacitance sensitivity is 27. 7 fF / mT. Magnetic field resolution of sensor can reach 36nT

according to existing micro capacitance detection technology.

关键词

Keywords

references

MEMS magnetic field sensor based on silicon bridge structure [J]. 杜广涛,陈向东,林其斌,李辉,郭辉辉. 半导体学报 . 2010(10)

应用磁传感器阵列定位跟踪消化道诊疗胶囊 [J]. 郑小林,李金,侯文生,何金. 光学精密工程 . 2009(03)

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