基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计

汤帅; 许丽萍; 温廷敦

doi:10.13873/j.1000-97872014.02.005

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基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计
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- 传感器与微系统 2014年33卷第2期页码：70-72
- 作者机构：
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（60776062,50730009）
- DOI：10.13873/j.1000-97872014.02.005
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2014
- 稿件说明：
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[1]汤帅,许丽萍,温廷敦.基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计[J].传感器与微系统,2014,33(02):70-72.
[1]汤帅,许丽萍,温廷敦.基于镜像结构光子晶体的微加速度计设计[J].传感器与微系统,2014,33(02):70-72. DOI： 10.13873/j.1000-97872014.02.005.

DOI：

摘要

镜像结构光子晶体能够在一定范围的频带内形成单一的透射峰

受其他频率的光子影响小且易于观察。从理论结果可以看出

这种光子晶体透射率与所受的轴向应力在一定范围内呈简单的线性关系。据此

该设计以典型的单悬臂梁结构为基础设计一种新型加速度计。在单悬臂梁根部所受应力最大处

用镜像结构光子晶体替代以往的力敏电阻器

通过测出透射光强算出透射率

进而可算出加速度的值。从模态分析图中可以看到这种加速度计具有更好的稳定性和抗干扰性。

Abstract

关键词

Keywords

references

MEMS低量程微加速度计的设计 [J]. 郭涛,林大为,向婷. 微电子学 . 2011(03)

光子晶体传感器的研究进展 [J]. 傅小勤,郭明,张晓辉,战胜鑫,王娜. 材料导报 . 2011(03)

基于介观压阻效应的硅微加速度计研究 [J]. 吴瑞,温廷敦. 传感技术学报 . 2007(08)

光子晶体的性质、制备方法及应用前景 [J]. 钱达兴,汪晨怿. 建筑材料学报 . 2005(03)

The Effect of Uniaxial Stress on Optical Transmission Properties of One-Dimensional Photonic Crystals with a Mirror Symmetry [J] . Yang Yang,Liping Xu,Tingdun Wen. Integrated Ferroelectrics . 2012 (1)

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