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四电极电化学MEMS加速度传感器仿真
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 四电极电化学MEMS加速度传感器仿真

    • Simulation of four-electrode electrochemical MEMS acceleration sensor

    • 传感器与微系统   2014年33卷第1期 页码:18-21
    • DOI:10.13873/j.1000-97872014.01.004    

      中图分类号: TH824.4
    • 纸质出版:2014

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  • [1]苏荣涛,李伟,车录锋.四电极电化学MEMS加速度传感器仿真[J].传感器与微系统,2014,33(01):18-21. DOI: 10.13873/j.1000-97872014.01.004.

    SU Rong-tao, LI Wei, CHE Lu-feng. Simulation of four-electrode electrochemical MEMS acceleration sensor[J]. 2014, 33(1): 18-21. DOI: 10.13873/j.1000-97872014.01.004.

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上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系
上海交通大学 机械与动力工程学院
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