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基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备

    • Preparation of capacitive passive pressure sensor based on LTCC technology

    • 传感器与微系统   2013年32卷第6期 页码:95-97
    • DOI:10.13873/j.1000-97872013.06.037    

      中图分类号: TP212
    • 纸质出版:2013

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  • [1]李晨,熊继军,谭秋林,康昊,葛斌儿,王伟.基于LTCC技术的电容式无源压力传感器制备[J].传感器与微系统,2013,32(06):95-97. DOI: 10.13873/j.1000-97872013.06.037.

    LI Chen, XIONG Ji-jun, TAN Qiu-lin, et al. Preparation of capacitive passive pressure sensor based on LTCC technology[J]. 2013, 32(6): 95-97. DOI: 10.13873/j.1000-97872013.06.037.

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