基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试

郑世俊; 谭秋林; 洪应平; 李莹; 熊继军

doi:10.13873/j.1000-97872013.06.035

Chinese

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基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试
- Fabrication and measurement of passive pressure sensor based on zirconia functional ceramic
- 传感器与微系统 2013年32卷第6期页码：81-83+87
- 作者机构：
  
  中北大学电子测试技术国家重点实验室仪器科学与动态测试教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家“973”计划资助项目（2010CB334703）;国家自然科学基金资助项目（51075375）
- DOI：10.13873/j.1000-97872013.06.035
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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[1]郑世俊,谭秋林,洪应平,李莹,熊继军.基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试[J].传感器与微系统,2013,32(06):81-83+87.

ZHENG Shi-jun, TAN Qiu-lin, HONG Ying-ping, et al. Fabrication and measurement of passive pressure sensor based on zirconia functional ceramic[J]. 2013, 32(6): 81-83+87.
[1]郑世俊,谭秋林,洪应平,李莹,熊继军.基于氧化锆功能陶瓷的无源压力传感器的制备与测试[J].传感器与微系统,2013,32(06):81-83+87. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.06.035.

ZHENG Shi-jun, TAN Qiu-lin, HONG Ying-ping, et al. Fabrication and measurement of passive pressure sensor based on zirconia functional ceramic[J]. 2013, 32(6): 81-83+87. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.06.035.

摘要

氧化锆功能陶瓷因其稳定的物理特性、机械韧性和高温鲁棒性得到了广泛的应用。从非接触无源信号测试技术的基础研究出发

以LC无源谐振电路为技术背景

提出了采用氧化锆流延生带来实现MEMS压力微结构的设计方案

并通过利用陶瓷生片叠片工艺技术和厚膜印刷技术成功制备了压力传感器。根据电感耦合原理实现了传感器的非接触环境压力测试

通过在最大耦合距离为1 cm的条件下测试获得的压力传感器的灵敏度为7.5 MHz/bar。本传感器有效避免了微器件封装、引线外联的问题

从而为以后压力传感器应用在较高温度环境奠定基础。

Abstract

Zirconia functional ceramic has wide applications with its stable physical characters

mechanical toughness and high temperature robustness.Based on basic research on non-contact passive signal measurement technology

pressure LC passive circuit is used as technical background.Design scheme of MEMS pressure micro-structure is realized by ZrO2 casting belt

by adopting ceramic green sheet technology and thick film printing technology

pressure sensor is fabricated.Non contact environmental pressure test is realized according to inductive coupling theory.The sensitivity of pressure sensor is 7.5 MHz/bar at max coupling distance 1 cm.The problem of micro-device packaging and lead out reach can be avoided

thus lay the foundation for pressure sensor used in high temperature environment in the future.

关键词

Keywords

references

电磁场与电磁波理论[M]. 科学出版社 , 徐立勤,曹伟编著, 2006

Study of deformation and porosity evolution of low temperature co-fired ceramic for embedded structures fabrication [J] . L.E. Khoong,Y.M. Tan,Y.C. Lam. Journal of the European Ceramic Society . 2009 (13)

A structural study of Y 2 O 3 -partially stabilized zirconia ceramics [J] . E. A. Korableva,V. S. Yakushkina,O. S. Grishin,V. V. Vikulin,O. P. D’yachenko. Refractories and Industrial Ceramics . 2005 (1)

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