谐振式加速度计模型分析与仿真

李晶; 樊尚春

doi:10.13873/j.1000-97872013.06.007

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谐振式加速度计模型分析与仿真

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 谐振式加速度计模型分析与仿真
- Modeling analysis and simulation of resonant accelerometer
- 传感器与微系统 2013年32卷第6期页码：33-35+46
- 作者机构：
  
  1. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
  2. 中北大学信息与通信工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（60927005）
- DOI：10.13873/j.1000-97872013.06.007
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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[1]李晶,樊尚春.谐振式加速度计模型分析与仿真[J].传感器与微系统,2013,32(06):33-35+46.

LI Jing1, FAN Shang-chun1. Modeling analysis and simulation of resonant accelerometer[J]. 2013, 32(6): 33-35+46.
[1]李晶,樊尚春.谐振式加速度计模型分析与仿真[J].传感器与微系统,2013,32(06):33-35+46. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.06.007.

LI Jing1, FAN Shang-chun1. Modeling analysis and simulation of resonant accelerometer[J]. 2013, 32(6): 33-35+46. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.06.007.

摘要

为了设计高灵敏度的谐振式加速度计

从能量耗散的角度对其进行了力学建模分析

通过理论分析和实验仿真说明:传感器参数的选择对系统能量耗散会产生极大的影响。实验证明:当外部结构刚度远远大于内部结构刚度时

可以实现加速度计外部结构和内部结构的解耦。这为设计高Q值、高灵敏度的谐振式加速度计提供了理论基础。

Abstract

In order to design high sensitivity resonant accelerometer

mechanical modeling and analysis are carried out in view of energy dissipation.Theoretical analysis and simulation results show that choise of sensor parameters can greatly influence system energy dissipation.Experiment shows that when stiffness of external structure is much larger than that of internal structure

decoupling can be realized in these two parts.It provides theoretical basis for design of high Q factor and high sensitivity resonant accelerometer.

关键词

Keywords

references

谐振式硅微机械加速度计研究进展 [J]. 李晶,樊尚春,李成,余朝发. 传感器与微系统 . 2011(12)

谐振加速度计的非线性分析 [J]. 郝一龙,贾玉斌. 纳米技术与精密工程 . 2003(01)

Single-stage microleverage mechanism optimization in a resonant accelerometer [J] . X.-P.S. Su,H.S. Yang. Structural and Multidisciplinary Optimization . 2001 (3)

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