压电式精密驱动器及其闭环控制系统设计

苏江; 刘鹏; 杨志刚

doi:10.13873/j.1000-97872013.05.039

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

压电式精密驱动器及其闭环控制系统设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 压电式精密驱动器及其闭环控制系统设计
- Design of piezoelectric precise actuator and its closed-loop control system
- 传感器与微系统 2013年32卷第5期页码：95-98
- 作者机构：
  
  1. 吉林大学珠海学院机电工程系
  2. 吉林大学机械科学与工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（50605027）
- DOI：10.13873/j.1000-97872013.05.039
  中图分类号： TP273
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]苏江,刘鹏,杨志刚.压电式精密驱动器及其闭环控制系统设计[J].传感器与微系统,2013,32(05):95-98.

SU Jiang1, LIU Peng2, YANG Zhi-gang2. Design of piezoelectric precise actuator and its closed-loop control system[J]. 2013, 32(5): 95-98.
[1]苏江,刘鹏,杨志刚.压电式精密驱动器及其闭环控制系统设计[J].传感器与微系统,2013,32(05):95-98. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.05.039.

SU Jiang1, LIU Peng2, YANG Zhi-gang2. Design of piezoelectric precise actuator and its closed-loop control system[J]. 2013, 32(5): 95-98. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.05.039.

摘要

提出了一种以压电叠堆作为驱动源的新型步进直线精密驱动器

设计了直线驱动器的整体结构

分析了直线驱动器的工作原理。制作了直线驱动器样机并进行试验测试

试验结果表明:步距与电压间具有良好的线性关系

但驱动器存在步距误差。采用PCI—6229NI数据采集卡

使用LabVIEW软件设计了驱动器闭环反馈控制系统

对比试验结果表明:驱动器定位精度显著提高

可达到0.06μm。

Abstract

A novel stepping linear precise actuator is proposed based on piezoelectric stack as actuator element

the overall structure of linear actuator is designed

its working principle is analyzed.The prototype of linear actuator is fabricated

and its test is carried out.The experimental results show that there is a good linear relationship between voltage and step distance

but the actuator has step distance error.Using PCI—6229NI data acquisition card

closed-loop feedback control system of actuator is designed with LabVIEW software.The comparative experimental results show that the positioning precision of the actuator improves significantly

which reaches 0.06 μm.

关键词

Keywords

references

压电叠堆泵驱动的精密步进驱动电机 [J]. 范尊强,刘建芳,阚君武,杨志刚,李建桥. 中国电机工程学报 . 2010(15)

压电陶瓷应用研究进展 [J]. 程院莲,鲍鸿,李军,李小亚. 中国测试技术 . 2005(02)

现代驱动技术综述 [J]. 叶云岳. 电机技术 . 2005(01)

现代超精密加工技术的概况及应用 [J]. 周志斌,肖沙里,周宴,汪科. 现代制造工程 . 2005(01)

光学微结构的超精密加工技术 [J]. 李荣彬,杜雪,张志辉,高栋,赵伟明. 纳米技术与精密工程 . 2003(01)

微操作机器人系统的研究开发 [J]. 毕树生,宗光华. 中国机械工程 . 1999(09)

LabVIEW 7.1编程与虚拟仪器设计[M]. 清华大学出版社 , 候国屏, 2005

Peristaltic micropump system with piezoelectric actuators [J] . Ling-Sheng Jang,Yung-Chiang Yu. Microsystem Technologies . 2008 (2)

浏览量

187

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

基于PZT薄膜的微系统器件研究进展

一种电热式MEMS微镜多自由度模型解析方法

基于SMA的关节驱动器的力学分析及控制

一种基于SMA的摆动式驱动器驱动原理及实验