环境温度对RF-MEMS开关闭合电压影响研究

刘雷; 张高飞; 尤政

doi:10.13873/j.1000-97872013.05.032

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环境温度对RF-MEMS开关闭合电压影响研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 环境温度对RF-MEMS开关闭合电压影响研究
- Research on effect of environmental temperature on RF-MEMS switch pull-in voltage
- 传感器与微系统 2013年32卷第5期页码：6-8
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器与机械学系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872013.05.032
  中图分类号： TP211.4
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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[1]刘雷,张高飞,尤政.环境温度对RF-MEMS开关闭合电压影响研究[J].传感器与微系统,2013,32(05):6-8.

LIU Lei, ZHANG Gao-fei, YOU Zheng. Research on effect of environmental temperature on RF-MEMS switch pull-in voltage[J]. 2013, 32(5): 6-8.
[1]刘雷,张高飞,尤政.环境温度对RF-MEMS开关闭合电压影响研究[J].传感器与微系统,2013,32(05):6-8. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.05.032.

LIU Lei, ZHANG Gao-fei, YOU Zheng. Research on effect of environmental temperature on RF-MEMS switch pull-in voltage[J]. 2013, 32(5): 6-8. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.05.032.

摘要

相较于传统的电子开关

RF-MEMS开关在射频特性、功耗和体积方面具有无可比拟的优势。闭合电压是MEMS开关的重要技术指标。重点研究环境温度对开关闭合电压的影响。建立环境温度对开关电压影响模型

得到理论计算公式。通过试验方式得到闭合电压对环境温度的变化曲线。试验结果表明:在-10～40℃范围内

开关电压随环境温度升高而降低。最大电压变化为8.8V

是-10℃时闭合电压58.6 V的15%

环境温度对开关闭合电压影响很大。

Abstract

Compared with traditional electronic switch

RF-MEMS switch has advantages on RF characteristic

power consumption and volume.Pull-in voltage is the important technical specification of MEMS switch.Effect of environmental temperature on pull-in voltage is studies.Impact module of environmental temperature on pull-in voltage is built up and theoretical formula is obtained.The change curve of pull-in voltage on environmental temperature is obtained through experiments.Experimental results indicate that in the range of-10

0 ℃

pull-in voltage descends with the decline of environmental temperature.Maximum voltage change（8.8V） is 15 % of pull-in voltage（58.6V） at-10 ℃

environmental temperature has important impact on pull-in voltage.

关键词

Keywords

references

考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型 [J]. 方玉明,李普. 传感技术学报 . 2011(06)

低温环境下MEMS微构件的动态特性及测试系统 [J]. 佘东生,王晓东,张习文,王立鼎. 光学精密工程 . 2010(10)

晶体Cu和Ar弹性模量随压强和温度的变化关系 [J]. 张浩波,王莉艳. 西南师范大学学报(自然科学版) . 2004(01)

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