激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器

刘宇; 王萌; 王博; 姜丽娟; 王少华

doi:10.13873/j.1000-97872013.01.040

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激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器
- Diaphragm-type F-P interferometric optical fiber pressure sensor based on Si chip processed by laser
- 传感器与微系统 2013年32卷第1期页码：112-114+117
- 作者机构：
  
  1. 天津大学精密仪器与光电子工程学院
  2. 天津大学光电信息技术教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  天津市科技支撑计划重点资助项目（11ZCKFGX01900）
- DOI：10.13873/j.1000-97872013.01.040
  中图分类号： TP212.14
- 纸质出版：2013
- 稿件说明：
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[1]刘宇,王萌,王博,姜丽娟,王少华.激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器[J].传感器与微系统,2013,32(01):112-114+117.

LIU Yu1, WANG Meng1, WANG Bo1, et al. Diaphragm-type F-P interferometric optical fiber pressure sensor based on Si chip processed by laser[J]. 2013, 32(1): 112-114+117.
[1]刘宇,王萌,王博,姜丽娟,王少华.激光加工硅片的膜片式法—珀干涉型光纤压力传感器[J].传感器与微系统,2013,32(01):112-114+117. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.01.040.

LIU Yu1, WANG Meng1, WANG Bo1, et al. Diaphragm-type F-P interferometric optical fiber pressure sensor based on Si chip processed by laser[J]. 2013, 32(1): 112-114+117. DOI： 10.13873/j.1000-97872013.01.040.

摘要

分析了多个反射面对单法—珀腔传感器光谱法解调的影响。为降低不参与形成法—珀腔的反射面的反射率以消除这一影响

利用Nd∶YAG激光加工系统在两面抛光硅片中的一面进行了表面纹理化处理。将经激光切割下的已表面纹理化的圆形硅片粘贴在中空玻璃毛细管一端

最后插入单模光纤并封装成非本征（EFPI）光纤法—珀干涉型压力传感器。进行了静态气压测试实验

结果表明:在40～240kPa气压范围内

传感器压力灵敏度为11.9 nm/kPa

线性度为1.51%。

Abstract

The influence of multi mirror on spectroscopic methodology demodulation single Fabry-Perot（F-P） cavity sensor is studied.In order to lower the reflection of the surface which is not used to form F-P cavity to eliminate this influence

one surface of the both-surfaces-polished Si diaphragm is textured by using Nd∶ YAG laser processing system.A small round piece of textured diaphragm cut off by laser is bonded onto one end of a hollow glass tube

a single mode fiber is plugged into the glass tube and an EFPI pressure sensor is packaged.Static air pressure experiments are taken and the results show that the sensor achieves a sensitivity of 11.9 nm/kPa and a linearity of 1.51 % at the range 40 -240 kPa.

关键词

Keywords

references

用于太阳能电池的多晶硅激光表面织构化研究 [J]. 王学孟,赵汝强,沈辉,梁宗存. 激光与光电子学进展 . 2010(01)

膜片式微型F-P腔光纤压力传感器 [J]. 于清旭,贾春艳. 光学精密工程 . 2009(12)

光纤F-P腔压力传感器在高温油井下的应用研究 [J]. 于清旭,王晓娜,宋世德,赵业卫,崔士斌. 光电子.激光 . 2007(03)

引入衰减的多腔法布里-珀罗滤波器的特性分析 [J]. 孙雪铮,陈海星,顾培夫. 光学学报 . 2005(07)

工程光学[M]. 机械工业出版社 , 郁道银,谈恒英主编, 2006

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