基于新型光栅传感器的微位移测量

杨春振; 白立新

doi:10.13873/j.1000-97872012.07.042

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基于新型光栅传感器的微位移测量

计算与测试 | 更新时间：2025-09-11

- 基于新型光栅传感器的微位移测量
- Measurement of micro-displacement based on new type of grating sensor
- 传感器与微系统 2012年31卷第7期页码：123-125
- 作者机构：
  
  四川大学物理科学与技术学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  四川大学“大学生创新性实验计划”资助项目
- DOI：10.13873/j.1000-97872012.07.042
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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[1]杨春振,白立新.基于新型光栅传感器的微位移测量[J].传感器与微系统,2012,31(07):123-125.

YANG Chun-zhen, BAI Li-xin. Measurement of micro-displacement based on new type of grating sensor[J]. 2012, 31(7): 123-125.
[1]杨春振,白立新.基于新型光栅传感器的微位移测量[J].传感器与微系统,2012,31(07):123-125. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.07.042.

YANG Chun-zhen, BAI Li-xin. Measurement of micro-displacement based on new type of grating sensor[J]. 2012, 31(7): 123-125. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.07.042.

摘要

实验将新型光栅传感器应用于微位移测量之中。通过比较线（角）位移与莫尔条纹移动个数之间的关系

实验发现

在微位移测量中光栅传感器具有极好的线性度（R2≥0.999）和精确度（误差≤2.0%）。实验验证了光栅传感器在微位移测量中可行性和可靠性。

Abstract

A new type of grating sensor are applied in measurement of micro-displacement in this experiment.By comparing the relation between linear（or angular） displacement and the movement number of Moiré fringes

the experiment shows that grating sensors have advantages of good linearity（R 2 ≥0.999） and accuracy（error≤ 2.0 %） in the measurement of micro-displacement.The feasibility and reliability of grating sensors are verified.

关键词

Keywords

references

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