基于LiCl湿敏涂层的QCM湿度传感特性的研究

蒙成; 童筱钧; 方颀; 刘铎

doi:10.13873/j.1000-97872012.03.038

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基于LiCl湿敏涂层的QCM湿度传感特性的研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于LiCl湿敏涂层的QCM湿度传感特性的研究
- Study on humidity sensing characteristics of QCM based on LiCl humidity sensitive coating
- 传感器与微系统 2012年31卷第3期页码：81-84
- 作者机构：
  
  1. 江南大学物联网工程学院
  2. 南京大学声学研究所近代声学重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  近代声学教育部重点实验室基金资助项目（0806）
- DOI：10.13873/j.1000-97872012.03.038
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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[1]蒙成,童筱钧,方颀,刘铎.基于LiCl湿敏涂层的QCM湿度传感特性的研究[J].传感器与微系统,2012,31(03):81-84.

MENG Cheng1, TONG Xiao-jun1, FANG Qi1, et al. Study on humidity sensing characteristics of QCM based on LiCl humidity sensitive coating[J]. 2012, 31(3): 81-84.
[1]蒙成,童筱钧,方颀,刘铎.基于LiCl湿敏涂层的QCM湿度传感特性的研究[J].传感器与微系统,2012,31(03):81-84. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.03.038.

MENG Cheng1, TONG Xiao-jun1, FANG Qi1, et al. Study on humidity sensing characteristics of QCM based on LiCl humidity sensitive coating[J]. 2012, 31(3): 81-84. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.03.038.

摘要

对0.2%质量比LiCl薄膜涂层的QCM湿度传感单元湿敏特性进行了系统性的研究。研究结果表明:0.2%质量比LiCl—QCM的湿度传感单元的线性测量范围为13%～94%RH

克服了常规LiCl湿敏材料传感单元量程窄的缺点。另外

此湿度传感单元还具有重复性好、灵敏度高、湿滞小（小于10 Hz）、数字频率化输出等优点

因而

具有较好的潜在应用前景。

Abstract

Humidity sensing characteristics of quartz crystal microbalance（QCM）humidity sensor coated with LiCl

whose mass ratio is 0.2 %

is studied.The experimental results show that the QCM humidity sensing unit with mass ratio 0.2 % LiCl humidity sensitive coating exhibits broad linear range of 13 %

4 %RH

high sensitivity

good repeatability

small hysteresis

digital output and nanogram-level measurement precision

and has very attractive prospect of application.

关键词

Keywords

references

用QCM分析ZnO纳米线在湿度检测中的响应 [J]. 吕家云,张健,周晓峰. 压电与声光 . 2008(05)

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