一种差动输出石英谐振式力传感器研制

李艳杰

doi:10.13873/j.1000-97872012.02.045

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

一种差动输出石英谐振式力传感器研制

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 一种差动输出石英谐振式力传感器研制
- Research and fabrication of a quartz resonant force sensor with differential output
- 传感器与微系统 2012年31卷第2期页码：128-130
- 作者机构：
  
  中国电子科技集团公司第四十九研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872012.02.045
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]李艳杰.一种差动输出石英谐振式力传感器研制[J].传感器与微系统,2012,31(02):128-130.

LI Yan-jie. Research and fabrication of a quartz resonant force sensor with differential output[J]. 2012, 31(2): 128-130.
[1]李艳杰.一种差动输出石英谐振式力传感器研制[J].传感器与微系统,2012,31(02):128-130. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.02.045.

LI Yan-jie. Research and fabrication of a quartz resonant force sensor with differential output[J]. 2012, 31(2): 128-130. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.02.045.

摘要

介绍了一种具有差动输出石英力传感器

该传感器由轮辐式弹性结构和2只石英力敏谐振器组成。利用分别位于正负应力区2只力敏元件感知作用力的大小

进而进行差动输出

以实现零点温漂与时漂自补偿。分析了弹性梁的结构特性;介绍了双端音叉石英力敏谐振器的结构、力学特性及力传感器的制作过程。对传感器进行了静态测试

结果表明:传感器测量范围为0～300N

静态精度为0.05%。

Abstract

A quartz force sensor with differential output has been developed.It consists of a spoke elastic structure and two quartz resonant force sensing devices.One is arranged at positive region

another is arranged at negative region.They sense force and make up of differential output signal to realize zero thermal and time shift self compensation.The structure character of elastic beam is analyzed.The double terminal force device performance

and the process of manufacture is introduced.The result shows that the sensor’s measurement range is 0

00N

statistic precise is 0.05 %.

关键词

Keywords

references

双端石英音叉力敏传感器的原理与设计 [J]. 岳书彬,孙秀英,秦自楷,刘迎春,丁福玲. 山东大学学报(自然科学版) . 2000(03)

差动式石英谐振力传感器 [J]. 朱惠忠,冯冠平. 仪表技术与传感器 . 1999(05)

浏览量

109

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

陶瓷电容式力敏元件的可靠性设计与工艺

基于离心原理的力传感器动态标定系统辨识与分析

多谐振器无芯片RFID标签设计

基于STM32的力传感器信号采集与处理系统设计

基于DSP的主动光学力促动器控制系统设计