薄膜热电偶温度传感器研究进展

赵源深; 杨丽红

doi:10.13873/j.1000-97872012.02.035

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薄膜热电偶温度传感器研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 薄膜热电偶温度传感器研究进展
- Research progress of thin film thermocouple temperature sensor
- 传感器与微系统 2012年31卷第2期页码：1-3+7
- 作者机构：
  
  上海理工大学机械工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市教委重点学科建设项目（J50503）;上海市研究生创新基金资助项目（JWCXSL1102）
- DOI：10.13873/j.1000-97872012.02.035
  中图分类号： TP212.1
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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[1]赵源深,杨丽红.薄膜热电偶温度传感器研究进展[J].传感器与微系统,2012,31(02):1-3+7.

ZHAO Yuan-shen, YANG Li-hong. Research progress of thin film thermocouple temperature sensor[J]. 2012, 31(2): 1-3+7.
[1]赵源深,杨丽红.薄膜热电偶温度传感器研究进展[J].传感器与微系统,2012,31(02):1-3+7. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.02.035.

ZHAO Yuan-shen, YANG Li-hong. Research progress of thin film thermocouple temperature sensor[J]. 2012, 31(2): 1-3+7. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.02.035.

摘要

随着低维材料技术的发展和对测温要求的提高

薄膜热电偶温度传感器应运而生

其快速响应特性为测量瞬变温度提供了可能。综述了薄膜热电偶温度传感器国内外发展现状

着重介绍了薄膜临界厚度的确定、扩散现象的影响、制备工艺等关键技术

并对其未来发展做出了展望。

Abstract

The thin film thermocouple temperature sensor is created with the development of low-dimensional materials technology and the increase of temperature measurement requirements.It is possible to measure transient temperature by using the thin film thermocouple temperature sensor as its rapid response characteristics.The domestic and foreign development present situation is summarized.The technical problem such as determining the critical thickness

the influence of diffusion

preparation technology is also introduced emphatically.Its development direction in the future is also presented.

关键词

Keywords

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