溶胶—凝胶法制备掺钛SnO<sub>2</sub>薄膜的气敏光学特性研究

冯金垣; 周壹义; 邓健强

doi:10.13873/j.1000-97872012.02.001

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溶胶—凝胶法制备掺钛SnO₂薄膜的气敏光学特性研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 溶胶—凝胶法制备掺钛SnO₂薄膜的气敏光学特性研究
- Study on gas-sensing optical properties of SnO₂∶ Ti thin film prepared by sol-gel method
- 传感器与微系统 2012年31卷第2期页码：84-86
- 作者机构：
  
  华南理工大学理学院
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872012.02.001
  中图分类号： O484.41
- 纸质出版：2012
- 稿件说明：
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[1]冯金垣,周壹义,邓健强.溶胶—凝胶法制备掺钛SnO_2薄膜的气敏光学特性研究[J].传感器与微系统,2012,31(02):84-86.

FENG Jin-yuan, ZHOU Yi-yi, DENG Jian-qiang. Study on gas-sensing optical properties of SnO₂∶ Ti thin film prepared by sol-gel method[J]. 2012, 31(2): 84-86.
[1]冯金垣,周壹义,邓健强.溶胶—凝胶法制备掺钛SnO_2薄膜的气敏光学特性研究[J].传感器与微系统,2012,31(02):84-86. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.02.001.

FENG Jin-yuan, ZHOU Yi-yi, DENG Jian-qiang. Study on gas-sensing optical properties of SnO₂∶ Ti thin film prepared by sol-gel method[J]. 2012, 31(2): 84-86. DOI： 10.13873/j.1000-97872012.02.001.

摘要

采用溶胶—凝胶（sol—gel）法制备掺钛SnO2薄膜

通过制备过程中变化不同质量分数的钛掺杂来制备3种不同质量分数（5%

10%

15%）的掺钛SnO2薄膜。在常温下对膜片在丙酮、甲烷气氛中进行气敏光学特性测试。结果表明:掺钛SnO2薄膜在常温下对不同的测试气体具有不同的反应

并且薄膜的灵敏度与掺杂量有关;质量分数为5%钛掺杂SnO2薄膜在丙酮气氛下的灵敏度在1300～2500 nm波长范围保持在13%左右

而质量分数为15%钛掺杂SnO2薄膜在甲烷气氛下的灵敏度在1700～2300 nm范围内保持在7%左右。

Abstract

SnO2∶ Ti thin film is prepared by sol-gel method.SnO2∶ Ti thin film of three different mass fractions（5 %

10 %

15 %）are prepared during the preparation process.The gas-sensing optical properties of the film in the acetone atmosphere and methane atmosphere are researched at the room temperature.The results show that SnO2∶ Ti thin film has different responses for different test gas and is related to doping quantities.Mass fraction of 5 % SnO2∶ Ti thin film in the acetone atmosphere remains at 13 % at the range of 1 300

500 nm wavelength.Mass fraction of 15 % SnO2∶ Ti thin film in the methane atmosphere remains aroud 7 % at the range of 1 700

300 nm wavelength.

关键词

Keywords

references

溶胶—凝胶法掺钛SnO 2 薄膜的气敏光学特性研究 [J]. 冯金垣,邓健强,孔镇. 传感器与微系统 . 2010(08)

磁控射频溅射Cu掺杂SnO 2 薄膜的气敏光学特性研究 [J]. 冯金垣,郝延华. 陶瓷学报 . 2008(03)

用Sol-Gel法制备气敏传感器SnO 2 薄膜的研究 [J]. 秦友兰,王万录,赵作峰,肖金龙,董玉峰. 广西师范大学学报(自然科学版) . 2000(03)

汽相沉积法SnO 2 薄膜光谱透过率气敏特性的研究 [J]. 冯金垣,越泽庭,黎达宇,杨日福. 光学技术 . 1998(04)

催化剂对氧化物气敏性能的影响 [J]. 朱文会,徐甲强. 郑州轻工业学院学报 . 1994(S1)

气敏传感器今后的研究课题 [J]. 蔡可芬. 传感器技术 . 1990(06)

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Study on gas-sensing optical properties of SnO2∶ Ti thin film prepared by sol-gel method

DOI：10.13873/j.1000-97872012.02.001

摘要

Abstract

关键词

Keywords

references

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