谐振式硅微机械加速度计研究进展

李晶; 樊尚春; 李成; 余朝发

doi:10.13873/j.1000-97872011.12.032

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谐振式硅微机械加速度计研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- 谐振式硅微机械加速度计研究进展
- Research progress of silicon resonant MEMS accelerometer
- 传感器与微系统 2011年30卷第12期页码：4-7
- 作者机构：
  
  1. 中北大学信息与通信工程学院
  2. 北京航空航天大学仪器科学与光电工程学院
  3. 武汉军械士官学校枪炮系
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872011.12.032
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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[1]李晶,樊尚春,李成,余朝发.谐振式硅微机械加速度计研究进展[J].传感器与微系统,2011,30(12):4-7.

LI Jing1, FAN Shang-chun2, LI Cheng2, et al. Research progress of silicon resonant MEMS accelerometer[J]. 2011, 30(12): 4-7.
[1]李晶,樊尚春,李成,余朝发.谐振式硅微机械加速度计研究进展[J].传感器与微系统,2011,30(12):4-7. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.12.032.

LI Jing1, FAN Shang-chun2, LI Cheng2, et al. Research progress of silicon resonant MEMS accelerometer[J]. 2011, 30(12): 4-7. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.12.032.

摘要

谐振式硅微机械加速度计作为一种新型的对加速度进行测量的传感器

是通过检测加速度施加前后谐振敏感元件谐振频率变化实现对加速度检测的。该传感器具有频率信号输出、稳定性好、灵敏度高、精度高等优点

己成为微传感器的重要发展方向之一。汇总了该传感器的国内外相关研究现状

并对加工工艺进行了总结

讨论了谐振式硅微加速度计设计中的关键技术因素

并给出了未来的发展方向。

Abstract

The silicon resonant micro-electro-mechanical system（MEMS） accelerometer is a new kind of sensor which is used to measure the acceleration by detecting the change of resonant frequency of the sensitive element.This kind of sensor has many advantages such as frequency signal output

high stability and sensitivity.The fabrication process is also introduced in detail.General research prospect is summarized.

关键词

Keywords

references

微加速度计中新型微杠杆机构设计和分析 [J]. 何高法,唐一科,刘世明,何晓平. 传感技术学报 . 2007(07)

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