气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计

苏雷龙; 蒋书波; 程明霄; 何野; 徐波; 李晟

doi:10.13873/j.1000-97872011.10.009

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气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计
- Design on NIR spectrometer based on MEMS technology for gas detecting
- 传感器与微系统 2011年30卷第10期页码：120-122
- 作者机构：
  
  1. 南京工业大学自动化与电气工程学院精密仪器研究所
  2. 南京工业大学高技术研究院
  3. 江苏英特神斯科技有限公司
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872011.10.009
  中图分类号： TH744.1
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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[1]苏雷龙,蒋书波,程明霄,何野,徐波,李晟.气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计[J].传感器与微系统,2011,30(10):120-122.

SU Lei-long1, JIANG Shu-bo1, CHENG Ming-xiao1, et al. Design on NIR spectrometer based on MEMS technology for gas detecting[J]. 2011, 30(10): 120-122.
[1]苏雷龙,蒋书波,程明霄,何野,徐波,李晟.气体检测中基于MEMS技术的近红外光谱仪设计[J].传感器与微系统,2011,30(10):120-122. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.10.009.

SU Lei-long1, JIANG Shu-bo1, CHENG Ming-xiao1, et al. Design on NIR spectrometer based on MEMS technology for gas detecting[J]. 2011, 30(10): 120-122. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.10.009.

摘要

根据传统近红外光谱仪的不足

利用MEMS微镜设计了近红外光谱仪的光路

并给出了仪器的设计框架

设计了仪器的上位机程序;利用单色仪和29.4%的甲烷气体样品和对样机进行测试

实验结果表明:在10～35℃内

仪器波长稳定性小于2 nm

并能够观测到甲烷在1650 nm附近吸光度约为0.01的吸收峰。MEMS技术应用在近红外光谱仪中

对于气体检测是可行的

并且能够使仪器做到便携式。

Abstract

According to the deficiency of traditional NIR spectrometer

a light path of NIR spectrometer by MEMS micro-mirror

overall framework and the computer program are designed.The instrument tested by monochromator and CH4 gas of 29.4 %.The results show that between 10

5 ℃

wavelength stability can be reached within 2 nm and an absorption peak of 0.01 absorbency of CH4 near 1 650 nm can also be observed.The MEMS micro-mirror can be applied in the NIR spectrometer for gas detecting

and it makes the instrument portable.

关键词

Keywords

references

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