基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计

王孝; 王玉花; 周善波; 谢行; 沈传兵

doi:10.13873/j.1000-97872011.08.045

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基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计
- Design on the capacitive grating millesimal sensor based on semiconductor silicon wafers
- 传感器与微系统 2011年30卷第8期页码：95-96+103
- 作者机构：
  
  北京航天试验技术研究所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872011.08.045
  中图分类号： TP212.1
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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[1]王孝,王玉花,周善波,谢行,沈传兵.基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计[J].传感器与微系统,2011,30(08):95-96+103.

WANG Xiao, WANG Yu-hua, ZHOU Shan-bo, et al. Design on the capacitive grating millesimal sensor based on semiconductor silicon wafers[J]. 2011, 30(8): 95-96+103.
[1]王孝,王玉花,周善波,谢行,沈传兵.基于半导体硅片的容栅千分传感器的设计[J].传感器与微系统,2011,30(08):95-96+103. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.08.045.

WANG Xiao, WANG Yu-hua, ZHOU Shan-bo, et al. Design on the capacitive grating millesimal sensor based on semiconductor silicon wafers[J]. 2011, 30(8): 95-96+103. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.08.045.

摘要

容栅千分传感器广泛应用于位移测量中

设计的容栅千分传感器

将普通容栅传感器在线路板上的刻线划分移植到了半导体硅片上

利用了半导体的工艺技术

实现刻线划分的高精度、高密度

从而达到普通线路板无法达到的精度

将容栅传感器的分辨力提高至0.001mm。

Abstract

Capacitive millesimal sensor are widely used in displacement measurement.The designed capacitive millesimal sensor has a characteristic that transplants the reticle from circuit boards to semiconductor silicon wafers.Techniques of semiconducters are used to realize higher precision and higher density that usual circuit boards can’t reach.The resolution of capacitive millesimal sensor can reach 0.001mm.

关键词

Keywords

references

容栅位移传感器在喷油泵试验台中的应用 [J]. 王峰,刘建新,李民,杜慧勇,邓本都,宗永平,赵致和. 仪表技术与传感器 . 2004(05)

容栅传感器及其发展前景 [J]. 王习文,齐欣,宋玉泉. 吉林大学学报(工学版) . 2003(02)

容栅传感器材质误差分析 [J]. 史福元,马修水,周保贵. 工具技术 . 1997(04)

容栅传感器不确定度初步分析与计算 [J]. 马修水,徐科军,史福元,王家福. 宇航计测技术 . 1996(Z1)

容栅测量技术 [J]. 伊振基. 机械 . 1995(04)

容栅传感器刻划误差的分析计算 [J]. 凌锐鸿,王佶. 工具技术 . 1995(07)

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