微尺度射流流量计的设计与仿真研究

程宁; 谢代梁

doi:10.13873/j.1000-97872011.08.006

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微尺度射流流量计的设计与仿真研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 微尺度射流流量计的设计与仿真研究
- Design and simulation research of microscale fluidic flowmeter
- 传感器与微系统 2011年30卷第8期页码：70-72+76
- 作者机构：
  
  中国计量学院计量测试工程学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  浙江省自然科学基金资金项目（Y1091152）;国家自然科学基金资助项目（11002137）
- DOI：10.13873/j.1000-97872011.08.006
  中图分类号： TH814
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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[1]程宁,谢代梁.微尺度射流流量计的设计与仿真研究[J].传感器与微系统,2011,30(08):70-72+76.

CHENG Ning, XIE Dai-liang. Design and simulation research of microscale fluidic flowmeter[J]. 2011, 30(8): 70-72+76.
[1]程宁,谢代梁.微尺度射流流量计的设计与仿真研究[J].传感器与微系统,2011,30(08):70-72+76. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.08.006.

CHENG Ning, XIE Dai-liang. Design and simulation research of microscale fluidic flowmeter[J]. 2011, 30(8): 70-72+76. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.08.006.

摘要

MEMS流量控制系统中

需要微型化的流量传感器

设计了一种反馈流驱动的微尺度射流流量计。采用数值模拟的方法对微尺度射流流量计进行研究

CFD软件的仿真结果表明:在较宽入口速度范围内该微尺度射流流量计起振快

振荡稳定

切换灵敏

斯特劳哈尔数基本恒定

并且流速测量下限可以达到0.075m/s

在一定程度上为射流流量计的微型化和微尺度射流流量计的设计与优化提供了依据。

Abstract

A feedback-driven microscale fluidic flowmeter is designed for the need of the miniaturization of flow sensors in the MEMS flow control system.Numerical simulation method is employed to study the measurement characteristics of this microscale fluidic flowmeter.The simulation results using CFD software show that this micro scale fluidic flowmeter is able to oscillate within a very short time

oscillation is stable

switch is sensitive and the Strouhal number is almost a constant in a wide range of the inlet velocity of this flowmeter

especially the initial oscillation velocity is down to a small flow rate 0.075m/s.The attempt in this work may provide some useful information for design and optimization of the microscale fluidic flowmeter.

关键词

Keywords

references

射流流量计的仿真与试验研究 [J]. 傅新,王驰宇,谢海波,杨华勇. 机械工程学报 . 2006(07)

微流动的研究现状及影响因素 [J]. 凌智勇,丁建宁,杨继昌,范真,李长生. 江苏大学学报(自然科学版) . 2002(06)

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射流流量计关键技术研究 [D]. 王驰宇. 浙江大学 2008

流体力学[M]. 西南交通大学出版社 , 姜兴华等编, 1999

A novel micromachined flow sensor using periodic flapping motion of a planar jet impinging on a V-shaped plate [J] . Gwo-Bin Lee,Tzu-Ying Kuo,Wan-Yu Wu. Experimental Thermal and Fluid Science . 2002 (5)

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