MEMS继电器典型结构及其研究进展

黄虎; 尤政; 阮勇; 张弛

doi:10.13873/j.1000-97872011.07.017

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MEMS继电器典型结构及其研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS继电器典型结构及其研究进展
- Typical structures and developing trends of MEMS relays
- 传感器与微系统 2011年30卷第7期页码：1-4+9
- 作者机构：
  
  清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872011.07.017
  中图分类号： TM581
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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[1]黄虎,尤政,阮勇,张弛.MEMS继电器典型结构及其研究进展[J].传感器与微系统,2011,30(07):1-4+9.

HUANG Hu, YOU Zheng, RUAN Yong, et al. Typical structures and developing trends of MEMS relays[J]. 2011, 30(7): 1-4+9.
[1]黄虎,尤政,阮勇,张弛.MEMS继电器典型结构及其研究进展[J].传感器与微系统,2011,30(07):1-4+9. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.07.017.

HUANG Hu, YOU Zheng, RUAN Yong, et al. Typical structures and developing trends of MEMS relays[J]. 2011, 30(7): 1-4+9. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.07.017.

摘要

综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构

包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器

并对各种类型微继电器的特点进行了比较。

Abstract

The principles and typical structures of MEMS relays based on MEMS technology at home and abroad are summarized.The characteristics of various MEMS relay such as electrostatic

electromagnetic

electrothermal

liquid-filled and hybrid MEMS relays are compared.

关键词

Keywords

references

静电型微继电器的设计与研究 [J]. 许高斌,李洋,何晓雄,矫妹. 真空科学与技术学报 . 2007(05)

电磁驱动RFMEMS开关的研究状况 [J]. 李全宝,景玉鹏,刘茂哲,陈大鹏,欧毅,马瑾,叶甜春. 电子工业专用设备 . 2007(01)

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