MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展

陶凯; 丁桂甫; 杨卓青; 王佩红; 吴义伯; 汪红; 王艳

doi:10.13873/j.1000-97872011.05.015

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MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展

综述与评论 | 更新时间：2025-09-11

- MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展
- Research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in MEMS
- 传感器与微系统 2011年30卷第5期页码：1-4+7
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
  2. 安徽大学物理与材料科学学院
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  高等学校科技创新工程重大计划资助项目（708037）;国家自然科学基金资助项目（51007001）;国家重点实验室基金资助项目（9140C7903011007）
- DOI：10.13873/j.1000-97872011.05.015
  中图分类号： TM273
- 纸质出版：2011
- 稿件说明：
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[1]陶凯,丁桂甫,杨卓青,王佩红,吴义伯,汪红,王艳.MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展[J].传感器与微系统,2011,30(05):1-4+7.

TAO Kai1, DING Gui-fu1, YANG Zhuo-qing1, et al. Research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in MEMS[J]. 2011, 30(5): 1-4+7.
[1]陶凯,丁桂甫,杨卓青,王佩红,吴义伯,汪红,王艳.MEMS中永磁材料的微细加工技术研究进展[J].传感器与微系统,2011,30(05):1-4+7. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.05.015.

TAO Kai1, DING Gui-fu1, YANG Zhuo-qing1, et al. Research development of micromachining technologies of permanent magnetic materials in MEMS[J]. 2011, 30(5): 1-4+7. DOI： 10.13873/j.1000-97872011.05.015.

摘要

概述了永磁材料在微机电系统（MEMS）中集成制造方法的研究进展

总结了当前用于制造永磁薄膜的电沉积、溅射、脉冲激光沉积（PLD）和粘结磁体微图形化等4种主要加工技术的优缺点和研究现状

并对未来的发展方向提出了一些观点。

Abstract

Recent progress in integrated micromachining methods of permanent magnetic materials in the application of micro-electro-mechanical systems（MEMS）is reviewed.Four major manufacturing technologies of permanent magnetic films

including electro-deposition

sputtering

pulsed laser deposition（PLD）and micro-bonded magnet are introduced.Their respective advantages and disadvantages are compared.Meanwhile

some suggestions of the future perspective are pointed out.

关键词

Keywords

references

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