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微机械陀螺封装应力研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 微机械陀螺封装应力研究

    • Study of packaging stress of micro-machined gyroscopes

    • 传感器与微系统   2011年30卷第4期 页码:25-27+30
    • DOI:10.13873/j.1000-97872011.04.022    

      中图分类号: TN966
    • 纸质出版:2011

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  • [1]李亚山,闫俊杰,刘俊,石云波.微机械陀螺封装应力研究[J].传感器与微系统,2011,30(04):25-27+30. DOI: 10.13873/j.1000-97872011.04.022.

    LI Ya-shan1, YAN Jun-jie2, LIU-Jun1, et al. Study of packaging stress of micro-machined gyroscopes[J]. 2011, 30(4): 25-27+30. DOI: 10.13873/j.1000-97872011.04.022.

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