微系统技术(Microsystem)作为一门多学科交叉融合的前沿领域

近来受到国内外的高度关注

发展迅猛

其设计、制造和应用涉及物理学、化学、力学、微电子学、电子学、光学、生物医学、控制工程、信息科学等多个学科

具有广阔的应用前景。