对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响

陈晖; 李光杨; 汪红; 王艳; 丁桂甫; 赵小林

doi:10.13873/j.1000-97872010.08.004

Chinese

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对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响
- Effect of convective-diffusive mass transfer on coating uniformity electroforming
- 传感器与微系统 2010年29卷第8期页码：41-43+47
- 作者机构：
  
  上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室薄膜与微细技术教育部重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市科委科研计划资助项目（0852nm02600）;国家重点实验室基金资助项目（9140C79030302090C79）
- DOI：10.13873/j.1000-97872010.08.004
  中图分类号： TQ153
- 纸质出版：2010
- 稿件说明：
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[1]陈晖,李光杨,汪红,王艳,丁桂甫,赵小林.对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响[J].传感器与微系统,2010,29(08):41-43+47.

CHEN Hui, LI Guang-yang, WANG Hong, et al. Effect of convective-diffusive mass transfer on coating uniformity electroforming[J]. 2010, 29(8): 41-43+47.
[1]陈晖,李光杨,汪红,王艳,丁桂甫,赵小林.对流—扩散传质对微电铸镀层均匀性的影响[J].传感器与微系统,2010,29(08):41-43+47. DOI： 10.13873/j.1000-97872010.08.004.

CHEN Hui, LI Guang-yang, WANG Hong, et al. Effect of convective-diffusive mass transfer on coating uniformity electroforming[J]. 2010, 29(8): 41-43+47. DOI： 10.13873/j.1000-97872010.08.004.

摘要

利用有限元分析软件FLUENT对MEMS微电铸镀层均匀性进行了分析。对当物质传输成为金属沉积的控制步骤时

进行对流—扩散传质过程数值模拟

研究不同深宽比微结构中对流—扩散对传质的影响。模拟结果表明:当对流—扩散传质成为控制步骤时

渗透流影响镀层基本形貌

回流会引起镀层形貌的微小起伏。

Abstract

MEMS micro-electroforming uniformity are analyzed using FLUENT software.The convective-diffusive mass transfer effects inside different high-aspect-ratio micro-structures are simulated when the mass transfer turns into the control step.The results of simulations show that when the mass transport is controlled mainly by convection and diffusion

the penetration flow within the cavity effects the bump shapes and the vortices flow effects the minor ups and downs.

关键词

Keywords

references

高深宽比微细结构电铸时传质过程数值分析 [J]. 明平美,朱荻,胡洋洋,曾永彬. 机械工程学报 . 2008(08)

微制造与数字制造——21世纪制造技术的重要发展方向 [J]. 陈子辰,唐任仲. 机电工程 . 2001(05)

电化学方法原理和应用[M]. 化学工业出版社 , (美)阿伦·J.巴德（A.J.Bard）,（美）拉里·R.福克纳（L.R.Faulkner）著, 2005

电镀理论[M]. 中国农业机械出版社 , 黄子勋, 1982

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