光栅回转式压电微角度执行器的研究

张立; 林玉池; 赵美蓉; 齐永岳; 秦峰

doi:10.13873/j.1000-97872010.01.004

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光栅回转式压电微角度执行器的研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 光栅回转式压电微角度执行器的研究
- Research on circular grating rotary piezoelectric micro-angle actuator
- 传感器与微系统 2010年29卷第1期页码：58-61
- 作者机构：
  
  天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  高等学校科技创新工程重大项目培育资金资助项目（708023）
- DOI：10.13873/j.1000-97872010.01.004
  中图分类号： TH712
- 纸质出版：2010
- 稿件说明：
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[1]张立,林玉池,赵美蓉,齐永岳,秦峰.光栅回转式压电微角度执行器的研究[J].传感器与微系统,2010,29(01):58-61.

ZHANG Li, LIN Yu-chi, ZHAO Mei-rong, et al. Research on circular grating rotary piezoelectric micro-angle actuator[J]. 2010, 29(1): 58-61.
[1]张立,林玉池,赵美蓉,齐永岳,秦峰.光栅回转式压电微角度执行器的研究[J].传感器与微系统,2010,29(01):58-61. DOI： 10.13873/j.1000-97872010.01.004.

ZHANG Li, LIN Yu-chi, ZHAO Mei-rong, et al. Research on circular grating rotary piezoelectric micro-angle actuator[J]. 2010, 29(1): 58-61. DOI： 10.13873/j.1000-97872010.01.004.

摘要

介绍了一种基于圆光栅检测的回转式压电微角度执行器

采用尺蠖运动原理设计回转式压电电动机

运用C8051F005单片机产生四路控制信号

并采用直流放大式驱动电源放大控制信号驱动压电电动机

并通过圆光栅检测系统实时测量电动机联动盘回转角度

把测量值引入控制环节

实现最小步距为2.26"的全圆周匀速连续转动。

Abstract

A rotary piezoelectric micro-angle actuator based on detection of circular grating is introduced

a rotary piezoelectric motor is designed with the inchworm principle

and four-channel controlling signals are generated by C8051F005 single chip

amplified by DC amplifying type driving power

can drive the piezoelectric motor.A measuring system of circular grating is designed to measure the slewing angle of the motor

and the measurement is drawn into controlling unit

constant velocity continuous rotation is realized with smallest stepper angle of 2.26".

关键词

Keywords

references

一种新型纳米光栅传感器的理论研究 [J]. 马修水,费业泰,陈晓怀,赵静. 仪器仪表学报 . 2006(02)

大行程纳米级步距压电电动机 [J]. 赵美蓉,温丽梅,林玉池,张玉祥. 机械工程学报 . 2004(08)

光栅莫尔条纹信号的细分与辩向新技术 [J]. 崔骥,李怀琼,陈钱. 光学技术 . 2000(04)

蠕动式压电/电致伸缩微进给定位机构的研究进展 [J]. 李勇. 中国机械工程 . 1999(12)

角度基准中莫尔条纹细分的研究 [J]. 张建华. 光学精密工程 . 1997(01)

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