高精度电容式小孔孔径自动测量系统的研究

李亚标; 王宝光; 冯晓强

doi:10.13873/j.1000-97872009.12.005

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

高精度电容式小孔孔径自动测量系统的研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 高精度电容式小孔孔径自动测量系统的研究
- Research on high-precision capacitive automatic measuring system for pinhole diameter
- 传感器与微系统 2009年28卷第12期页码：14-16
- 作者机构：
  
  天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.12.005
  中图分类号： TH71
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]李亚标,王宝光,冯晓强.高精度电容式小孔孔径自动测量系统的研究[J].传感器与微系统,2009,28(12):14-16.

LI Ya-biao, WANG Bao-guang, FENG Xiao-qiang. Research on high-precision capacitive automatic measuring system for pinhole diameter[J]. 2009, 28(12): 14-16.
[1]李亚标,王宝光,冯晓强.高精度电容式小孔孔径自动测量系统的研究[J].传感器与微系统,2009,28(12):14-16. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.12.005.

LI Ya-biao, WANG Bao-guang, FENG Xiao-qiang. Research on high-precision capacitive automatic measuring system for pinhole diameter[J]. 2009, 28(12): 14-16. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.12.005.

摘要

提出了一种新型的非接触电容式小孔孔径测量方法

设计了专用测头

组建了小孔孔径自动测量系统。该系统采用视觉CCD和二维微调整机构

实现了精确的定位。用VC++6.0开发了应用软件

用来控制系统的自动运行

并完成标定、数据采集和数据处理。实验结果表明:此系统分辨率可以达到0.5μm

重复性实验标准差可以达到0.81μm。

Abstract

A high-precision

non-contact capacitance measuring method for pinhole diameter is introduced

and a special probe is designed.An automatic measuring system for pinhole diameter is formed.The system uses vision CCD and a two-dimensional micro-adjusting instrument to achieve precise position.The software is completed with VC++6.0

which can control to run automatically and compelete experimental data acquisition

calibration and data processsing.Experiments show that the resolution of this system is 0.5 μm and the standard deviation is 0.81 μm.

关键词

Keywords

references

薄孔壁厚和小孔径测量系统 [J]. 李斐,郭辉,孙长库,郑义忠,张以谟. 天津大学学报 . 2004(10)

电容传感器灵敏度与结构关系研究 [J]. 李国林,张旭,赵曦,施聚生. 兵工学报 . 2000(04)

电容传感微小孔径测量方法的研究 [D]. 王小兵. 天津大学 2006

传感器[M]. 机械工业出版社 , 强锡富主编, 2001

误差理论与数据处理[M]. 机械工业出版社 , 费业泰主编, 2000

浏览量

202

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

可用于运动监测的柔性压力传感器设计与制作

电容式三维柔性触觉传感阵列系统设计

基于电容式传感器的非接触式液位测量系统

基于电容式感应的手势识别系统设计

大过载真空传感器结构优化设计