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基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计
设计与制造 | 更新时间:2025-09-11
    • 基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计

    • Design of long guide alignment measurement system based on laser shearing interference

    • 传感器与微系统   2009年28卷第12期 页码:77-79
    • DOI:10.13873/j.1000-97872009.12.003    

      中图分类号: TH741
    • 纸质出版:2009

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  • [1]王文丹,赵美蓉,付鲁华,刘启海,林玉池.基于激光剪切干涉的长导轨直线度测量系统设计[J].传感器与微系统,2009,28(12):77-79. DOI: 10.13873/j.1000-97872009.12.003.

    WANG Wen-dan, ZHAO Mei-rong, FU Lu-hua, et al. Design of long guide alignment measurement system based on laser shearing interference[J]. 2009, 28(12): 77-79. DOI: 10.13873/j.1000-97872009.12.003.

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