基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究

侯安州; 惠春; 徐爱兰; 张艳丽; 倪鹤南

doi:10.13873/j.1000-97872009.07.023

Chinese

您当前的位置：

首页 >

文章列表页 >

基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究

研究与探讨 | 更新时间：2025-09-11

- 基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究
- Research on piezoelectric biosensor based on nano-crystalline PZT/quarts
- 传感器与微系统 2009年28卷第7期页码：9-11
- 作者机构：
  
  1. 上海交通大学生命科学技术研究院
  2. 上海交通大学微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室
  3. 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术国家重点实验室
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  上海市纳米技术专项基金资助项目（0752nm027）
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.07.023
  中图分类号： TP212
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
移动端阅览
[1]侯安州,惠春,徐爱兰,张艳丽,倪鹤南.基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究[J].传感器与微系统,2009,28(07):9-11.

HOU An-zhou1, HUI Chun1, XU Ai-lan2, et al. Research on piezoelectric biosensor based on nano-crystalline PZT/quarts[J]. 2009, 28(7): 9-11.
[1]侯安州,惠春,徐爱兰,张艳丽,倪鹤南.基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器研究[J].传感器与微系统,2009,28(07):9-11. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.07.023.

HOU An-zhou1, HUI Chun1, XU Ai-lan2, et al. Research on piezoelectric biosensor based on nano-crystalline PZT/quarts[J]. 2009, 28(7): 9-11. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.07.023.

摘要

制作了一种新型的基于纳米晶PZT/石英的压电生物质量传感器。采用了溶胶—凝胶法在石英晶体表面制备了纳米晶PZT薄膜

形成PZT/石英结构的敏感单元。研究了纳米晶PZT在石英基体上的微观结构、表面形貌;探讨了纳米晶PZT/石英作为敏感单元在细胞检测中的作用。实验结果表明:PZT薄膜的晶粒大小为20

0 nm

沿〈101〉晶向择优生长

并且

薄膜表面平整

结构致密。纳米晶PZT/石英结构的敏感单元使生物细胞传感器的灵敏度得到了提高。

Abstract

A new piezoelectric microbalance biosensor based on nano-crystalline PZT/quarts is fabricated.Sol-gel method is utilized to bond the PZT thin films on the quartz substrate as the sensing unit.The microstructure and the surface appearance of PZT thin films on quartz substrate and the influence of cancer cells detecting with the sensing unit using PZT/quartz are studied.The XRD and AFM results show that the PZT films feature〈101〉preferred orientation

good automorphic crystal structure

smooth surface

and the crystal particle size is 20

0 nm.The sensitivity of biosensor based on nano-crystalline PZT/quartz structure is improved.

关键词

Keywords

references

新型检测癌细胞的谐振式生物传感器 [J]. 卢蔚君,惠春,徐爱兰. 传感器与微系统 . 2006(03)

Piezoelectric biosensors for real-time monitoring of hybridization and detection of hepatitis C virus [J] . Petr Skládal,Carla dos Santos Riccardi,Hideko Yamanaka,Paulo Inácio da Costa. Journal of Virological Methods . 2004 (2)

Improved procedures for immobilisation of oligonucleotides on gold-coated piezoelectric quartz crystals [J] . S Tombelli,M Mascini,A.P.F Turner. Biosensors and Bioelectronics . 2002 (11)

A long-term lifetime amperometric glucose sensor with a perfluorocarbon polymer coating [J] . T. Matsumoto,A. Ohashi,N. Ito,H. Fujiwara,T. Matsumoto. Biosensors and Bioelectronics . 2001 (4)

浏览量

142

下载量

CSCD

文章被引用时，请邮件提醒。

提交

工具集

关联资源

新型微杠杆增强MEMS加速度计的设计与制作

并联式六维加速度感知机构的灵敏度及静刚度研究

电容式MEMS压力传感器的稳健设计研究

基于微结构的柔性电容式压力传感器设计与仿真研究

化学势对石墨烯基SPR传感器性能的影响