硅微机械二维加速度计的结构设计

鲍路路; 孔德义; 林丙涛; 江儒龙

doi:10.13873/j.1000-97872009.07.007

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硅微机械二维加速度计的结构设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 硅微机械二维加速度计的结构设计
- Design of dual-axis micromachined accelerometer
- 传感器与微系统 2009年28卷第7期页码：71-73
- 作者机构：
  
  1. 中国科学院合肥智能机械研究所传感技术国家重点实验室
  2. 中国科学技术大学
- 作者简介：
- 基金信息：
  
  国家自然科学基金资助项目（60574093,60871037）
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.07.007
  中图分类号： TH824.4
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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[1]鲍路路,孔德义,林丙涛,江儒龙.硅微机械二维加速度计的结构设计[J].传感器与微系统,2009,28(07):71-73.

BAO Lu-lu1, KONG De-yi1, LIN Bing-tao1, et al. Design of dual-axis micromachined accelerometer[J]. 2009, 28(7): 71-73.
[1]鲍路路,孔德义,林丙涛,江儒龙.硅微机械二维加速度计的结构设计[J].传感器与微系统,2009,28(07):71-73. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.07.007.

BAO Lu-lu1, KONG De-yi1, LIN Bing-tao1, et al. Design of dual-axis micromachined accelerometer[J]. 2009, 28(7): 71-73. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.07.007.

摘要

提出了一种新型的双轴电容式微机械加速度计的结构形式。采用1个质量块敏感2个正交方向的加速度

设计的弹性支撑结构巧妙地实现了正交方向的解耦

且结构稳定性好。详细讨论了该加速度计的工作原理

并利用有限元软件对敏感结构进行了静态和模态分析

从理论上验证了所提出的双轴电容式微机械加速度计整体结构的可行性。

Abstract

A novel structure of dual-axis capacitive micromachined accelerometer is introduced.A proof mass is sensitive to two orthogonal accelerations.The full symmetry structure with comb fingers makes cleverly the decoupling of two orthogonal accelerations and has high stability.After discussing the work principle of this element

the modality and static analysis are used by ANSYS.The results show that the structure can fulfill the design demands in theory.

关键词

Keywords

references

硅微机械二维倾角传感器结构设计 [J]. 单建华,孔德义,林丙涛,汪小华,梅涛,褚家如. 微细加工技术 . 2007(03)

一种双轴电容式微机械加速度计 [J]. 任杰,樊尚春. 传感技术学报 . 2006(05)

Piezoresistive sensing with twin-beam structures in standard MEMS foundry processes [J] . Behraad Bahreyni,Farshid Najafi,Cyrus Shafai. Sensors & Actuators: A. Physical . 2006 (2)

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