双声路声表面波毒剂传感器的设计

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双声路声表面波毒剂传感器的设计

设计与制造 | 更新时间：2025-09-11

- 双声路声表面波毒剂传感器的设计
- Design of dual-path SAW sensors for chemical warfare agents
- 传感器与微系统 2009年28卷第4期页码：91-93
- 作者机构：
  
  1. 防化指挥工程学院
  2. 中国电子科技集团公司第二十六所
- 作者简介：
- 基金信息：
- DOI：10.13873/j.1000-97872009.04.021
  中图分类号： TP212.2
- 纸质出版：2009
- 稿件说明：
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[1]陈传治,马晋毅,左伯莉,江洪敏.双声路声表面波毒剂传感器的设计[J].传感器与微系统,2009,28(04):91-93.

CHEN Chuan-zhi1, MA Jin-yi2, ZUO Bo-li1, et al. Design of dual-path SAW sensors for chemical warfare agents[J]. 2009, 28(4): 91-93.
[1]陈传治,马晋毅,左伯莉,江洪敏.双声路声表面波毒剂传感器的设计[J].传感器与微系统,2009,28(04):91-93. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.04.021.

CHEN Chuan-zhi1, MA Jin-yi2, ZUO Bo-li1, et al. Design of dual-path SAW sensors for chemical warfare agents[J]. 2009, 28(4): 91-93. DOI： 10.13873/j.1000-97872009.04.021.

对声表面波（SAW）芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究

设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器

并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料

测试了该传感器对芥子气（HD）的检测性能

结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点

为发展毒剂检测器材提供了依据。

The SAW configuration type

interdigital transducers configuration

fabrication technology and process

as well as the sensitive material and coating methods

are studied in detail.Using poly epichlorohydrin（PECH）as the sensitive coating for mustard gas（HD）

a novel dual-path SAW resonator gas sensor is designed and tested.The results show that such sensor has merits of good stability

high sensitivity

fast response

suitability for the continunous and real time detection

which is an ideal gas sensor for chemical warfare agents detection.

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