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高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究
研究与探讨 | 更新时间:2025-09-11
    • 高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究

    • Design and experiment study of single frequency laser interferometry with high precision

    • 传感器与微系统   2009年28卷第4期 页码:50-53
    • DOI:10.13873/j.1000-97872009.04.005    

      中图分类号: TH744.3
    • 纸质出版:2009

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  • [1]齐永岳,赵美蓉,林玉池.高精度单频激光干涉仪的设计与试验研究[J].传感器与微系统,2009,28(04):50-53. DOI: 10.13873/j.1000-97872009.04.005.

    QI Yong-yue, ZHAO Mei-rong, LIN Yu-chi. Design and experiment study of single frequency laser interferometry with high precision[J]. 2009, 28(4): 50-53. DOI: 10.13873/j.1000-97872009.04.005.

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